articleX 全自動顆粒分析系統以掃描電鏡和能譜儀為基礎，結合自動控制系統以及強大的數據庫系 統，可以全自動對雜質顆粒進行快速識別、分析和分類統計，為客戶的研發以及生 產提供快速、準確和可靠的定量數據支持。

　　詳細介紹

　　ParticleX 全自動顆粒分析系統主要用于雜質或顆粒物的綜合評估，可以自動獲取大量顆粒的微觀形貌 和成分信息，具體包括：

　　? 顆粒粒度分布

　　? 顆粒形貌分析

　　? 雜質成分檢測

　　? 高分辨率成像（8 nm 分辨率）

　　ParticleX 以掃描電鏡和能譜儀為基礎，結合自動控制系統以及強大的數據庫系 統，可以全自動對雜質顆粒進行快速識別、分析和分類統計，為客戶的研發以及生產提供快速、準確和可靠的定量數據支持。

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　　ParticleX 全自動顆粒分析系統

　　產品參數

　　電子顯微鏡：200,000 倍

　　探測器：高靈敏度四分割背散射電子探測器

　　燈絲材料：1,500 小時 CeB6 燈絲

　　分辨率：優于 10 nm

　　放置環境：采用專業防震設計，可擺放于普通實驗室或辦公室、廠房

　　加速電壓：4.8kV-20.5kV 連續可調

　　抽真空時間：小于 30 秒

　　能譜儀：可選配能譜儀

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