一、產(chǎn)品介紹

KYKY-EM8100場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡，使用肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍，亮度高，單色性好、電子束斑小，壽命長(zhǎng)，超大樣品倉(cāng)，滿足不同客戶的觀測(cè)需求；低像差物鏡技術(shù)提升成像品質(zhì)，特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，樣品適用性更廣；錐形物鏡設(shè)計(jì)，提升各類信號(hào)探測(cè)效率。

二、產(chǎn)品特點(diǎn)

l 0.9nm 30Kv(SE)，2.5nm 30kV(BSE)

l低加速電壓不導(dǎo)電樣品可直接觀測(cè)，無(wú)需噴金

l超大樣品艙，樣品直徑340mm，可定制樣品倉(cāng)尺寸

l束流穩(wěn)定度高，色散小，適宜于長(zhǎng)時(shí)間的各種精確分析

三、KYKY-EM8100場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡技術(shù)指標(biāo)：

分辨率

0.9nm 30KV（SE）;2.5nm 30KV（BSE）

放大倍數(shù)

2-3,000,000（圖像放大）

電子槍

肖特基熱場(chǎng)發(fā)射電子槍

加速電壓

0～30kV

自動(dòng)調(diào)整功能

聚焦，亮度/對(duì)比度、消像散、電子束對(duì)中

探測(cè)器

高真空二次電子探測(cè)器（探頭防碰撞）、CCD

樣品臺(tái)

五軸全自動(dòng)大樣品臺(tái)

行程：X=150mm,Y=150mm,Z=60mm，T=-5°～+75°,R=360°

樣品直徑:Ф340mm；樣品高度：50mm；具有碰撞報(bào)警功能。

選配探測(cè)器

BSE、EDS、EBSD、CL、EBIC等

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