無塵超潔凈烘箱 class100降溫可控聯(lián)網(wǎng)烘箱

無塵烘箱主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂膠后的軟烘焙Soft baking)，曝光、顯影后的堅膜硬烘（Hard baking)等工藝，適用半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤，亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫(yī)藥、光學(xué)鍍膜、精密元件干燥等生產(chǎn)工藝以及研發(fā)機構(gòu)。

一、聯(lián)網(wǎng)無塵烘箱人性化箱體結(jié)構(gòu)

1)上下雙腔結(jié)構(gòu),節(jié)省占地面積.

2)SUS304#鏡面不銹鋼內(nèi)膽,SUS304#拉絲不銹鋼板外殼,造型大方、新穎.

3)耐高溫風(fēng)機和合理風(fēng)道構(gòu)成熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng),保證室內(nèi)溫度均勻性.

4)美國進口H.E.P.A Filter 24"×24"×5-7/8"裝置往前門(特殊風(fēng)道設(shè)計)方向送風(fēng)，

過濾效率99.99%，Class 100

二、聯(lián)網(wǎng)無塵烘箱自動化控溫系統(tǒng)

1）采用智能控制系統(tǒng),日本優(yōu)易控  10〃TFT真彩觸摸薄屏 

   程式編輯：可預(yù)編120個程式，每個程式最大可編99段，共1200段

   歷史數(shù)據(jù)查詢(數(shù)據(jù)可以通過USB接口導(dǎo)出)

   可對接MES系統(tǒng)數(shù)據(jù)采集需求

2）電氣線路設(shè)計新穎，合理布線，安全可靠

3）箱體側(cè)部為電氣控制柜，方便于集中檢查維修。

三、聯(lián)網(wǎng)無塵烘箱安全完善的保護措施

1）超溫報警

2）欠相缺相保護

3）過電流保護

4）快速熔斷器

5）接地保護等系統(tǒng)。該功能充分保護實驗人員的安全。

公司名稱：上海旦順實業(yè)有限公司

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