層流原理流量計和控制器產(chǎn)品規(guī)格：

　　l 產(chǎn)品型號：MFM：S系列，M系列，P系列； MFC：SC系列，MC系列

　　l 量程范圍：0.5sccm~5000slpm

　　性能參數(shù)：

　　l 精度：±1.0%RD，±1.0%S.P.

　　l 重復(fù)精度：±0.2%F.S.

　　l 壓力漂移：Zero：≤±0.2%F.S./100Kpa；    Span：≤±0.2%F.S./100Kpa（基準(zhǔn)100KPa(絕壓))

　　l 溫度漂移：Zero：≤±0.02%F.S./℃；             Span：≤±0.02%F.S./℃（基準(zhǔn)溫度20℃）

　　l 工作范圍：1%~120%F.S.

　　l 響應(yīng)時間：MFM≤100ms. ； MFC≤100ms

　　l 啟動預(yù)熱時間：1s

　　使用條件：

　　l 介質(zhì)溫度：-20℃~60℃

　　l 環(huán)境溫度：-20℃~50℃

　　l 使用濕度：0%~98%（無冷凝）

　　l 工作壓力：0~1Mpa

　　l 耐壓：1.5Mpa

　　l 供電電壓：24V±20%

　　l 消耗電流：＜150mA （＜5V）

　　l 安裝方式：任意角度

　　l 接氣部材質(zhì)：SUS304，SUS316L，航空鋁材

　　l 進(jìn)出口：管螺紋（內(nèi)螺紋）

　　l 接氣部密封材質(zhì)：橡膠圈密封：氟橡膠

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