主要特點：

該系統由前級無油泵，后級分子泵，真空傳感器和電子控制系統和LED液晶顯示組成，此系統是用來抽吸或壓縮空氣和其它無腐蝕性、不溶于水、不含有固體顆粒的氣體，以便在封閉容器中形成真空和壓力，吸入氣體中允許混有少量液體。它被廣泛用于新能源材料，金屬材料，磁性材料，半導體材料，陶瓷材料，電化學，薄膜材料，CVD,PECVD ,石墨烯，硅納米管，納米線，等研究領域。由于在工作過程中，氣體的壓縮是等溫的，所以在壓縮和抽吸易燃、易爆氣體時，不易發生危險，所以其應用更加廣泛。

技術參數：

系統整體極限真空度：5.0*10-5pa

實驗真空度：5.0*10-3pa

功率消耗： 140W

啟動時間： 2min   

電源要求： 90-132/185-265VAC

環境溫度： 5-32℃

空氣相對濕度： ≤85%

工作電壓： 220V±10%

外型尺寸：600*600*650mm