激光共聚焦顯微鏡有奧林巴斯光學掃描儀。通過將采用電磁感應MEMS諧振掃描儀的X軸與采用Galvano掃描振鏡的Y軸相結合，能夠讓X-Y掃描儀定位于相對物鏡瞳鏡共軛的位置，因而能夠實現具有較低掃描軌跡失真和較小光學像差的X-Y掃描。

　　激光共聚焦顯微鏡高度測量原理

　　在測量高度時，顯微鏡通過自動移動焦點位置獲取多個共焦圖像。根據非連續的焦點位置（Z）和檢測光強度（I）可以估算每個像素的光強變化曲線（I-Z曲線），并獲得其峰值位置和峰值強度。由于所有像素的峰值位置與樣品表面的不規則性相對應，因此可以獲得樣品表面的3D形狀信息。與此類似，通過峰值強度數據可以獲得針對樣品表面所有位置焦點的圖像（擴展圖像）

　　在測量高度時，顯微鏡通過自動移動焦點位置獲取多個共焦圖像。根據非連續的焦點位置（Z）和檢測光強度（I）可以估算每個像素的光強變化曲線（I-Z曲線），并獲得其峰值位置和峰值強度。由于所有像素的峰值位置與樣品表面的不規則性相對應，因此可以獲得樣品表面的3D形狀信息。與此類似，通過峰值強度數據可以獲得針對樣品表面所有位置焦點的圖像（擴展圖像）

　　激光共聚焦顯微鏡

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